산화공정(Oxidation) 이론(1)에 이어서 남은 이론에 관해 설명하겠다. Factors Affecting Oxidation Rate (산화 속도 영향 인자) Deal Grove Model식의 파라미터(A, B, τ)들은 각종 변수들에 의해 값이 변한다.온도 (Temperature)산화제 종류 (Oxidation Species: Dry vs Wet)압력 (Pressure)결정 방향 (Orientation)도핑 (Doping)분위기 가스 (Gas Ambient: Cl2 등) Temperature & Oxidation Species 모든 속도 상수(B, B/A)는 온도에 대해 지수함수적으로 증가하는 아레니우스 거동(Arrhenius Behavior)을 나타낸다. 이때 왜 속도 상수들이 아레니우스 거동을 ..